材料本身所（suǒ）具有的性能，必須通過（guò）正確的熱處理（lǐ）手段來達到。隻有良好的熱處理手段（duàn），才能實現我（wǒ）們預想的性能期望。根據（jù）塑封模具材料性能要求（qiú），塑封模熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多次反複，通過這些不同的處理（lǐ），達到最佳的（de）模具性能。 
1、高（gāo）溫淬火 
    為了提高（gāo）材料（liào）的剛性和耐磨損性，一般材料均（jun1）需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶解於奧氏體內，以便在淬火（huǒ）時獲得高（gāo）的基體硬度，同時為了保證（zhèng）零件不發生脫碳氧化，相（xiàng）應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可（kě）以在高真空（kōng）條件下通過（guò）氮（dàn）氣保護（hù）對工件進行加熱，既保證了工件的脫碳氧化，又防（fáng）止了合金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在（zài）保證工件充（chōng）分淬透的同時又減少了變（biàn）形。 
2、深冷處理與高溫回（huí）火 
    高合金（jīn）鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高（gāo）於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性（xìng），通常（cháng）要進行深（shēn）冷處理和高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定的回火馬氏體。我們將經（jīng）過真空淬火（huǒ）後的工件，在室（shì）溫至100℃之間進行校（xiào）正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可（kě）以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因為進出爐（lú）而產生變形或開裂。同時由於采用氮（dàn）氣保護也避免了工（gōng）件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料（liào），我們（men）通常在深冷設備中直（zhí）接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火（huǒ）的鋼（gāng）種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火（huǒ）爐，在抽真（zhēn）空後，加入99.999%的高純氮氣作為介（jiè）質，通過吹風方向的改變（biàn）來形成對（duì）流，保證了工件的溫度均勻（yún）性，同時節省了回火時間（jiān）。 
3、其它輔助手段 
    在（zài）提高了淬（cuì）火回火及深冷處理質量的同時，我（wǒ）們同（tóng）時對（duì）工件的其它環節給予了充分的（de）重視，過去認為的熱處理工件潔淨度與（yǔ）處理無關的觀點已經被拋棄，增加潔淨預（yù）處理。即將未入（rù）爐零件（jiàn），通過真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入爐工件不會帶入其它（tā）雜質，避免了在高溫加熱時雜質（zhì）分解，汙染爐內環（huán）境和工件本（běn）身，從（cóng）微觀上保證了工（gōng）件的組織潔淨度和處理質量的完（wán）美性，提高了工（gōng）件的使用壽命。

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